填空题

低压气相外延能降低()效应,从而降低了外延时的杂质再分布。

【参考答案】

自掺杂
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多项选择题
关于铝膜下列哪种说法正确?()

A.耐腐蚀性好
B.与硅接触可能出现尖楔现象
C.抗电迁移性差
D.稳定性好

多项选择题
看图判断,下列哪种描述正确?()

A.图(b)是注入的低能离子
B.图(b)是注入的高能离子
C.图(a)是注入的低能离子
D.图(a)是注入的高能离子

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