单项选择题

调压阀的作用是调节泵的()和保持制程压力的稳定。

A.内部压力
B.温度
C.抽气速率
D.抗污染能力

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单项选择题
旋片泵是利用()的原理,通过吸气﹑压缩﹑排气的不断循环实现抽气目的。

A.旋转变容
B.动量传输作用
C.扩散
D.低温吸附

单项选择题
所有溅射镀膜设备使用的电源中()。

A.只有直流电源
B.包括直流和交流电源
C.没有直流电源
D.直流和交流电源都没有

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