负性光刻胶经曝光过的区域被溶解，而未曝光的区域被保留。

曝光前要进行对准操作。 点击查看答案

使用卧式氧化扩散炉时，在将硅片从花篮转移到石英舟的过程中，严禁裸手操作，一定要戴好乳胶手套，且不能用手直接接触硅片和石英舟。 点击查看答案