使用卧式氧化扩散炉时，在将硅片从花篮转移到石英舟的过程中，严禁裸手操作，一定要戴好乳胶手套，且不能用手直接接触硅片和石英舟。

进行薄膜淀积前，需先判断晶圆的质量是否合格。 点击查看答案

相较于卧式炉而言，立式炉更容易实现自动化，操作更加安全。 点击查看答案