坚膜是为了挥发掉存留在光刻胶中的各种溶剂，从而提高光刻胶对晶圆表面的粘附性。

负性光刻胶经曝光过的区域被溶解，而未曝光的区域被保留。 点击查看答案

曝光前要进行对准操作。 点击查看答案