简答题 在半导体制造技术中，高k介质和低k介质各自应用在什么地方，为什么？

【参考答案】

低k材料用于层间介质，因为低k介质减小电容，从而减小RC信号延迟，提高器件工作频率。高k介质用在替代栅氧化层，提高栅氧厚......

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