简答题 什么是离子注入时的沟道效应？列举出三种控制沟道效应的方法？

【参考答案】

沟道效应：单晶硅原子为长程有序排列，当注入离子未与硅原子碰撞减速，而是穿透了晶格间隙时，就发生了沟道效应，使预期的设计范......

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