简答题 解释为什么目前CMOS工艺中常采用多晶硅栅工艺，而不采用铝栅工艺？

【参考答案】

目前CMOS工艺中常采用多晶硅栅工艺，而不采用铝栅工艺的原因是：
①采用自对准方式，减小了晶体管的尺寸和栅电极......

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