简答题 阐述铜金属化面临的三大问题，如何解决这些问题？

【参考答案】

铜金属化面临的三大问题：
①扩散到氧化区和有源区；
②刻蚀困难（干法刻蚀难以形成挥发性物质），铜不容......

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