简答题 Si3N4材料在半导体工艺中能否用作层间介质，为什么？请举两例说明Si3N4在集成电路工艺中的应用。

【参考答案】

Si3N4材料在半导体工艺中不能用作层间介质，因为Si3N4材料的介电常数大，用作层间介质会引起很严重的互连延迟。......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)