多项选择题

‏CVD薄膜有哪些应用？（）

A.钨塞
B.钝化层
C.层间介质BPSG

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热门试题

多项选择题

‍CVD技术可以制备的薄膜有（）。

A.SiO₂
B.单晶硅
C.BSG
D.Si₃N₄

多项选择题

‌溅射方法从本质上可分为（）。

A.反应溅射
B.直流溅射
C.磁控溅射
D.射频溅射

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