问答题

简答题 简述在APCVD SiO2时掺杂PH3，形成磷硅玻璃（PSG）的优缺点。

【参考答案】

优点：吸附可动离子电荷改善器件界面，降低玻璃的软化点温度易于平坦化。
缺点：易吸潮，一般控制P2O5的含量在4%以下。

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