简答题 简述低压CVD系统（LPCVD）的优缺点。

【参考答案】

反应速度限制为主、温度控制要求高。
优点：膜致密、颗粒少，硅片可密集摆放，台阶覆盖较好（主要决定于反应气体）。......

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