简答题 简述沉积多晶硅采用什么CVD工具？掺杂的Poly－Si的主要用途。写出掺杂的Poly－Si做栅电极的6个原因。

【参考答案】

沉积多晶硅采用LPCVD。
用途：①掺杂的Poly－Si在MOS器件中用做栅电极；
②掺杂的Poly......

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