简答题 有哪些化学气相沉积的方法？它们各有什么优点和限制？哪些薄膜适合于物理淀积？

有哪些物理沉积的薄膜方法？它们各有什么优点和限制？哪些薄膜适合于物理淀积？ 点击查看答案

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