简答题 LOCOS工艺的特点是什么？“鸟嘴”效应的危害是什么？有无避免方法？

有哪些化学气相沉积的方法？它们各有什么优点和限制？哪些薄膜适合于物理淀积？ 点击查看答案

有哪些物理沉积的薄膜方法？它们各有什么优点和限制？哪些薄膜适合于物理淀积？ 点击查看答案