问答题

简答题 亚微米CMOS IC制造厂可分为哪六种独立的生产区？

【参考答案】

A.扩散（包括氧化、膜淀积和掺杂工艺）
B.光刻
C.刻蚀
D.薄膜
E.离子注入
F.抛光

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