扩散系统主要有以下四部分组成：（）

扩散分布的主要测量方法有：（）。 点击查看答案

扩散的目的是为了实现对半导体掺杂，杂质扩散的深度与（）有关，服从（）。杂质扩散通常分为等表面浓度扩散，也（），和固定杂质总量扩散，也称（）。预淀积的分布是（）函数，再分布扩散的杂质呈（）函数分布。 点击查看答案