扩散的目的是为了实现对半导体掺杂，杂质扩散的深度与（）有关，服从（）。杂质扩散通常分为等表面浓度扩散，也（），和固定杂质总量扩散，也称（）。预淀积的分布是（）函数，再分布扩散的杂质呈（）函数分布。

【参考答案】

杂质浓度梯度、扩散温度、扩散时间；费克定律；预淀积；再分布扩散；余误差；高斯