问答题
简答题 述集成电路的常规掩模版制备的工艺流程。
【参考答案】
硅平面晶体管或集成电路掩模版的制作,一般地讲,要经过原图绘制(包括绘总图和刻分图)、初缩、精缩兼分步重复、复印阴版和复印......
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