浅结制备的常用方法是：（）、（）加（）。而（）型浅结比（）型浅结更难制备。P型浅结常用（）、（）、（）来获得。

【参考答案】

降低注入离子能量；分子离子注入；快速热退火；P；n；BF₂⁺离子替代B⁺注入；降低B⁺注入能量；硅注入表面预非晶化