单项选择题

离子注入与热扩散相比,哪个横向效应小()

A. 离子注入
B. 热扩散

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单项选择题
二氧化硅膜能有效的对扩散杂质起掩蔽作用的基本条件有哪些()      ①杂质在硅中的扩散系数大于在二氧化硅中的扩散系数  ②杂质在硅中的扩散系数小于在二氧化硅中的扩散系数  ③二氧化硅的厚度大于杂质在二氧化硅中的扩散深度  ④二氧化硅的厚度小于杂质在二氧化硅中的扩散深度

A.②④
B.①③
C.①④
D.②③

单项选择题
在温度相同的情况下,制备相同厚度的氧化层,分别用干氧,湿氧和水汽氧化,哪个需要的时间最长?()

A.干氧
B.湿氧
C.水汽氧化

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