单项选择题

二氧化硅膜能有效的对扩散杂质起掩蔽作用的基本条件有哪些（）     
①杂质在硅中的扩散系数大于在二氧化硅中的扩散系数 
②杂质在硅中的扩散系数小于在二氧化硅中的扩散系数 
③二氧化硅的厚度大于杂质在二氧化硅中的扩散深度 
④二氧化硅的厚度小于杂质在二氧化硅中的扩散深度

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