简答题 为何热氧化时要控制钠离子含量？降低钠离子污染的措施有哪些？

【参考答案】

因为氧化层中如含有高浓度的钠，则线性和抛物型氧化速率常数明显变大。措施有：加强工艺卫生方可以避免Na+沾污；也可采用掺氯......

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