简答题 影响热氧化层电性的电荷来源有哪些类型？降低这些电荷浓度的措施？

【参考答案】

（1）可动离子电荷（Qm）：加强工艺卫生方可以避免Na+沾污；也可采用掺氯氧化，固定Na+离子；高纯试剂
（2......

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