填空题
光学光刻机的主要曝光光线的是波长为()的g线和()的i线,适合1微米以上特征尺寸的光刻。常用()的KrF和()的ArF准分子激光做1微米以下特征尺寸的光刻光源。
【参考答案】
436nm;365nm;248nm;193nm
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填空题
光学光刻机主要有()等几种。非光学光刻机主要有()。
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填空题
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