简答题 解释为什么薄膜应力与测量时薄膜的温度有关？为什么？

【参考答案】

薄膜中的应力按成因划分有本征应力和非本征应力。本征应力一般来源于薄膜淀积工艺本身是非平衡过程；非本征应力是由薄膜结构之外......

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