简答题 化学气相淀积（CVD）的概念，有哪五种基本化学反应？

【参考答案】

（1）高温分解：通常在无氧的条件下，通过加热化合物分解
（2）光分解：利用辐射使化合物的化学键断裂分解

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)