论述题 简述BOE（或BHF）刻蚀SiO₂的原理。

【参考答案】

二氧化硅腐蚀最常见的湿法腐蚀工艺之一是在稀释的HF溶剂中进行的SiO₂湿法腐蚀法。常用腐蚀液配比是......

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