问答题
论述题 射频放电与直流放电相比有何优点?
【参考答案】
直流放电中,电荷在表面的积聚会使电场减小,直到等离子体消失。在射频电场中,因为电场周期性地改变方向,带电粒子不容易到达电......
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问答题
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