简答题 例举并解释硅中固态杂质扩散的三个步骤。

【参考答案】

硅中固态杂质扩散的三个步骤：
（1）预淀积：表面的杂质浓度浓度最高，并随着深度的加大而减小，从而形成梯度。这种......

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