论述题 根据原理分类，干法刻蚀分成几种？各有什么特点？

【参考答案】

干法刻蚀是采用等离子体进行刻蚀的技术，根据原理分为溅射与离子铣（物理）、等离子刻蚀（化学）、反应离子刻蚀（物理+化学）。......

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