多项选择题

关于拉单晶时进行的缩颈步骤,下面的说法那种正确()

A.可以多次缩颈
B.为了能拉出与籽晶相同的硅锭
C.为了终止籽晶中的线缺陷向晶锭的延伸
D.为了终止与籽晶结合处的缺陷向晶锭的延伸

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单项选择题
化学气相淀积SiO2与热生长SiO2相比较,下面哪些说法是正确的:()。  1.热生长SiO2只能在Si衬底上生长; 2.CVD SiO2可以淀积在硅衬底上,也可以淀积在金属、陶瓷、及其它半导体材料上; 3.CVD SiO2,衬底硅不参加反应; 4.CVD SiO2,温度低。

A.1、2
B.2、4
C.1、4
D.1、2、4
E.1、2、3、4

单项选择题
下面选项属于主扩散的作用有()。  1.调节表面浓度 2.控制进入硅表面内部的杂质总量 3.控制结深

A.1
B.2
C.3
D.1、3

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