多项选择题
A.在表面进行化学反应,在表面淀积成薄膜B.副产物脱离吸附C.脱吸副产物逸出反应室D.反应剂传输至衬底表面,反应剂吸附在表面
A.钨塞B.钝化层C.层间介质BPSG
A.SiO2B.单晶硅C.BSGD.Si3N4