单项选择题

P5000机台属于哪种类型的CVD工艺（）

A.APCVD
B.LPCVD
C.PCVD
D.PECVD

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单项选择题
溅射过程中通过将哪种气体轰击靶材（）

A.He气
B.N2气
C.Ar气
D.O2气
多项选择题
Endura5500 degas腔的作用为（）。

A.除湿气，增加结合力
B.转向，确保wafer角度一致
C.去除晶圆表面的自然氧化层
D.使晶圆表面温度迅速冷却
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