单项选择题

溅射过程中通过将哪种气体轰击靶材（）

A.He气
B.N2气
C.Ar气
D.O2气

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多项选择题
Endura5500 degas腔的作用为（）。

A.除湿气，增加结合力
B.转向，确保wafer角度一致
C.去除晶圆表面的自然氧化层
D.使晶圆表面温度迅速冷却
多项选择题
TiN膜的三个用途包括（）。

A.用作阻挡层，防止Al/Si互溶导致漏电
B.用作ARC、降低Al的反射率利于曝光
C.钨塞制程中作为钨的粘附层
D.提升刻蚀的速率和均匀性
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