多项选择题

溅射机理有（）。

A.直流溅射
B.反应溅射
C.热蒸发理论
D.级联碰撞理论

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多项选择题
热偶规和热阻规工作原理基本相同，只是分别通过采集规管热丝上的（）信号来测量真空的大小。

A.电阻
B.温度
C.电流
D.压强
多项选择题
真空系统中进行真空测量的元件通常称为真空计或真空规管，请指出下面哪几种是常用的真空测量元件？（）

A.薄膜真空规
B.皮拉尼真空规
C.热偶真空规
D.电离真空规
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