单项选择题

上海光机所正为加盟863“十五”计划中的“（）步进扫描投影光刻机”的研制而努力。

A.80nm
B.100nm
C.150nm
D.200nm

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单项选择题
1994年6月研制成功了“LDDC－1型激光尘埃粒子计数器“的最小可测尘埃粒径为（）。

A.0.1μm
B.0.2μm
C.0.3μm
D.0.5μm
单项选择题
上海光机所用308nm、248nm和193nm三个准分子激光波长及255nm铜蒸气倍频激光进行了激光光刻实验。其中针对（）激光研制了两个光刻镜头。

A.308nm和248nm
B.308nm和193nm
C.248nm和193nm
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