2001年3月，发布了《中国科学院2000年度知识创新工程试点单位评估》，上海光机所目标完成度：科技目标38.06分；管理目标30.25分；前沿部署10分；创新文化8.90分。目标总分87.21分。位居位居中科院36个试点单位第8位，16个高技术口试点单位第（）位。

上海光机所正为加盟863“十五”计划中的“（）步进扫描投影光刻机”的研制而努力。

A.80nm
B.100nm
C.150nm
D.200nm

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1994年6月研制成功了“LDDC－1型激光尘埃粒子计数器“的最小可测尘埃粒径为（）。

A.0.1μm
B.0.2μm
C.0.3μm
D.0.5μm

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