单项选择题

1994年6月研制成功了“LDDC－1型激光尘埃粒子计数器“的最小可测尘埃粒径为（）。

A.0.1μm
B.0.2μm
C.0.3μm
D.0.5μm

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单项选择题
上海光机所用308nm、248nm和193nm三个准分子激光波长及255nm铜蒸气倍频激光进行了激光光刻实验。其中针对（）激光研制了两个光刻镜头。

A.308nm和248nm
B.308nm和193nm
C.248nm和193nm
单项选择题
为了适应高集成度、高速以及高成率的集成电路生产需求，国内研究单位和生产厂家为满足我国产业界从8μm线过渡到（）线的需求，为此上海光机所在国内最先开始了研制“1：1扫描投影光刻机”。

A.2μm
B.3μm
C.4μm
D.5μm
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