单项选择题
减薄时出现如图现象,该异常为(),该晶圆()处理。
A.划伤;继续生产B.划伤;剔除C.裂片;继续生产D.裂片;剔除
A.检查设备的各个运动部分的平滑程度,确认是否有异常B.检查各路气管是否有松脱或破损,及时加固或更换C.检查控制面板上的各操作按钮,如果出现故障要及时更换D.检查刀架的紧固情况,若有松动需及时紧固处理
A.晶圆旋转的速度,也就是载台的转速B.划片刀的刀刃厚度C.晶圆切割时,水平方向上移动的速度D.主轴旋转的速度