单项选择题
A.PCVD是PVD的一种，因此它不需要化学反应过程B.PCVD不需要近1000摄氏度的高温C.液晶显示器陈列基板工艺多采用CVD的方法
A.PCVD利用电场使反应物分解，提高了反应活性B.PCVD利用离子直接溅射C.PCVD使用的物质比较特殊D.PCVD过程使用的基板不同
A.外延生长法B.等离子CVDC.常压CVDD.减压CVD