单项选择题

普通CVD过程需要高温，PVCD是如何实现不需要高温的？（）

A.PCVD利用电场使反应物分解，提高了反应活性
B.PCVD利用离子直接溅射
C.PCVD使用的物质比较特殊
D.PCVD过程使用的基板不同

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热门 试题

单项选择题
下面哪种CVD的类型有效大量降低了工艺温度？（）

A.外延生长法
B.等离子CVD
C.常压CVD
D.减压CVD
单项选择题
CVD装置相比于PVD装置有什么明显优势？（）

A.装料多
B.绕射度好，台阶处不易断线
C.需要的真空度低
D.以上都是
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