单项选择题

下面哪种CVD的类型有效大量降低了工艺温度？（）

A.外延生长法
B.等离子CVD
C.常压CVD
D.减压CVD

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热门试题

单项选择题

CVD装置相比于PVD装置有什么明显优势？（）

A.装料多
B.绕射度好，台阶处不易断线
C.需要的真空度低
D.以上都是

单项选择题

下列哪一种CVD制膜方法使用了卤族灯加热（可以直接快速加热进行CVD反应）？（）

A.外延生长法
B.等离子CVD
C.常压CVD
D.RTP CVD

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