单项选择题
A.最高浓度下降B.最高浓度往内移动C.浓度分布宽度增加D.最高浓度提高
A.PCVD是PVD的一种，因此它不需要化学反应过程B.PCVD不需要近1000摄氏度的高温C.液晶显示器陈列基板工艺多采用CVD的方法
A.PCVD利用电场使反应物分解，提高了反应活性B.PCVD利用离子直接溅射C.PCVD使用的物质比较特殊D.PCVD过程使用的基板不同