简答题

如图为铝金属化与铜金属化工艺的比较。识别并描述每个工艺步骤。

【参考答案】

（a）铝金属化工艺下层铝导线层间绝缘介质沉积/平坦化通孔刻蚀通孔填充，形成钨插塞上层铝淀积上层铝导线刻蚀
（......

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