有限表面源扩散的杂质分布服从（）分布。

杂质原子（或离子）在半导体晶片中的扩散机构比较复杂，但主要可分为两种机构：替位式扩散和（）式扩散。 点击查看答案

入射离子的两种能量损失模型为：核碰撞和（）碰撞。 点击查看答案