简答题 哪种化学气体经常用来刻蚀多晶硅？描述刻蚀多晶硅的三个步骤。

【参考答案】

多晶硅等离子刻蚀用的化学气体通常是氯气、溴气或二者混合气体。
刻蚀多晶硅的三步工艺：
1.预刻蚀，用于去......

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