简答题 叙述氮化硅的湿法化学去除工艺。

【参考答案】

去除氮化硅使用热磷酸进行湿法化学剥离掉的。这种酸槽一般始终维持在160℃左右并对露出的氧化硅具有所希望的高选择比。用热磷......

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