简答题 解释发生刻蚀反应的化学机理和物理机理。

【参考答案】

在纯化学机理中，等离子体产生的反应元素（自由基和反应原子）与硅片表面的物质发生应。物理机理的刻蚀中，等离子体产生的带能粒......

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